应用范围：

材料形貌组织观察，断口分析，微区成分分析，元素定量、定性分析。

设备参数：

分辨率：3.0 nm @ 30 KV (SE 与W)；4.0 nm @ 30 KV (VP with BSD )

加速电压：0.2-30KV

放大倍数：5-1000000 X

探针电流：0.5PA-5μA

X-射线分析工作距离：8.5mm 35度接收角

低真空压力范围：10-400Pa

工作室：365mm (Φ) x 275 mm (h)

5轴优中心自动样品台：X=125mm Y=125mm Z=50mm T= -10°- 90° R=360°(l连续)

最大试样高度：145mm

最大试样直径：250mm

典型应用：

      疲劳断口                        能谱检测